微加工薄膜变形镜特性分析附视频

被引：5

作者：

李恩德

段海峰

戴云

蒋鹏

张雨东

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

来源：

强激光与粒子束 | 2006年 / 07期

基金：

中国科学院基金;

关键词：

自适应光学; 微加工薄膜变形镜; 拟合能力; 干涉仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN256 [集成光学器件];

学科分类号：

摘要：

借助测量微加工薄膜变形镜驱动器的面形影响函数,分析了驱动器的电压-位移函数和驱动器之间的线性叠加性;通过对连续面形变形镜拟合像差的理论分析和实验研究,建立了微加工薄膜变形镜电压解耦模型。分析了对前36阶Zernike模式的拟合残差和拟合能力,指出微加工薄膜变形镜仅可用来拟合低级像差并且有较大的拟合能力和较小的拟合残差,而不能拟合高级像差。

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页码：1099 / 1103

页数：5

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