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微加工中一种新型刻蚀深度实时检测系统
被引：6
作者：
赵光兴
陈洪
候西云
程上彝
杨国光
机构：
[1] 华东冶金学院自动化系,浙江大学光科系现代光学仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
二元光学，离子束刻蚀;
D O I：
暂无
中图分类号：
O439 [应用光学];
学科分类号：
摘要：
实现了一种新型刻蚀深度实时检测系统，整个系统对温度漂移，气体流动与外界振动等环境因素极不敏感，系统测量误差小于０．９８％，实现了在真空环境下刻蚀深度的实时监视与检测，对二元光学微加工具有现实意义
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页数：5
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