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纳米级定位精度弹性位移缩小机构的仿真与实验
被引：6
作者：
秦宇
冯之敬
机构：
[1] 清华大学精密仪器及机械学系
来源：
关键词：
弹性位移缩小机构;
纳米定位;
刚体模型;
有限元方法;
D O I：
10.13494/j.npe.2007.005
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
摘要：
研究了一种具有纳米级定位精度的弹性位移缩小机构.该机构采用柔性铰链杠杆结构,这种弹性位移缩小机构可以将传统螺母丝杠系统精度提高到纳米级,同时非线性、迟滞误差小.首先采用刚体模型建立了弹性位移缩小机构的理论模型;然后运用ANSYS有限元软件分析了弹性位移缩小机构的特性;最后使用双频激光干涉仪对弹性位移缩小机构的输出特性进行了测量.理论与实验结果表明,理论模型可以较好地反映输入与输出的关系,可作为设计弹性缩小机构缩小率的重要依据;有限元模型计算结果与实验结果接近;实验结果表明,该装置行程可达10μm,分辨率可达10nm.
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