Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体

被引：9

作者：

张治国

陈小锰

刘天伟

徐军

邓新禄

董闯

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

[2] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连

[3] 大连

来源：

真空科学与技术学报 | 2005年 / 02期

关键词：

ECR非平衡磁控溅射; 朗谬尔探针; 等离子体; 诊断;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2005.02.008

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。

引用

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