扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法

被引：2

作者：

朱龙俊

机构：

[1] 上海师范大学天华学院机械工程系

来源：

自动化与仪表 | 2012年 / 27卷 / 03期

关键词：

扩散硅压力传感器; 温度; 非线性; 误差补偿; 满量程;

D O I：

10.19557/j.cnki.1001-9944.2012.03.014

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1%FS以下。

引用

页码：53 / 56

页数：4

共 3 条

[1] 输出信号基于规范化多项式拟合的智能压力传感器 [J].

李国玉 ;

孙以材 ;

戴振清 .

自动化仪表, 2005, (01) :31-35

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