多弧离子镀硬质膜的抗空蚀性能研究

被引:7
作者
潘国顺
杨文言
邵天敏
王义民
机构
[1] 清华大学摩擦学国家重点实验室!北京
[2] 煤炭科学研究总院!北京
关键词
灰口铸铁; 多弧离子镀; 陶瓷硬质膜; 空蚀性能;
D O I
10.16078/j.tribology.2001.01.004
中图分类号
TG174.444 [真空镀与气相镀法];
学科分类号
080503 ;
摘要
利用磁致伸缩振动空蚀试验装置 ,研究了灰口铸铁表面多弧离子镀 Ti N、Cr N及 (Ti,Cr) N硬质膜的抗空蚀性能 .研究结果表明 ,离子镀硬质膜的抗空蚀性能与铸铁基体的表面粗糙度、离子镀层的表面特征、镀膜过程中工件负偏压及镀层厚度密切相关 .采用屏蔽离子镀可以有效地减少膜层表面的微颗粒及微缺陷 ,从而改善材料的抗空蚀性能 .当基片负偏压为 30 0 V而膜厚为 3μm时 ,硬质膜的抗空蚀性能最佳 .
引用
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