磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响

被引：5

作者：

周志华

傅明喜

黄兴民

陆琼晔

机构：

[1] 江苏大学材料科学与工程学院

[2] 江苏大学材料科学与工程学院江苏镇江

[3] 江苏镇江

来源：

关键词：

磁控溅射; 不锈钢薄膜; 工艺参数; 结合力;

D O I：

10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2004.11.011

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响。为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范围。

引用

页码：27 / 28+62 +62-66

页数：4

共 7 条

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