利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量

被引:7
作者
孔兵
王昭
谭玉山
机构
[1] 西安交通大学机械工程学院
关键词
共焦; 光学测量; 内插值; 二次曲面拟合;
D O I
暂无
中图分类号
TH741 [光学计量仪器];
学科分类号
摘要
以普通光学成像透镜取代显微物镜 ,以针孔阵列 (5 0 0× 5 0 0 )取代单针孔 ,实现了全场并行共焦测量 .在数据处理上 ,采用了内插值三维重构算法 ,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法 ,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度 .实验表明 ,系统的最大横向测量范围为 5mm× 5mm ,横向测量精度约为 13μm ,纵向测量精度约为 5 μm ,因此可大大提高测量视场及测量速度 .
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共 4 条
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