利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量

被引：7

作者：

孔兵

王昭

谭玉山

机构：

[1] 西安交通大学机械工程学院

来源：

西安交通大学学报 | 2001年 / 11期

关键词：

共焦; 光学测量; 内插值; 二次曲面拟合;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

摘要：

以普通光学成像透镜取代显微物镜 ,以针孔阵列 (5 0 0× 5 0 0 )取代单针孔 ,实现了全场并行共焦测量 .在数据处理上 ,采用了内插值三维重构算法 ,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法 ,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度 .实验表明 ,系统的最大横向测量范围为 5mm× 5mm ,横向测量精度约为 13μm ,纵向测量精度约为 5 μm ,因此可大大提高测量视场及测量速度 .

引用

页码：1151 / 1154

页数：4

共 4 条

[1]

Depth response of confocal optical microscopes. Corle T R,Chou C H,Kino G S. Optics Letters . 1986

[2]

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[3]

Surface profile measurement using a unique microcube-based system. Yin Shizhuo,Li Jiang,Song Minho. Optics Communication . 1999

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Visualization in biomedical microscopies-3D imaging and computer applications. Andres K. . 1992

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