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原子力/摩擦力显微图象的分析与测量
被引：4
作者：
王吉会
路新春
钱林茂
史兵
温诗铸
机构：
[1] 清华大学摩擦学国家重点实验室
来源：
基金：
中国博士后科学基金;
关键词：
原子力／摩擦力显微镜,纳米测量,图象分析,微观表面形貌;
D O I：
10.16078/j.tribology.1998.01.010
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
用表面粗糙度评定方法和分形几何方法，结合原子力／摩擦力显微图象的特点，编制了包括Ｒａ，Ｒｑ，Ｓｍ，Ｓ，λａ，λｑ及高度分布、承载率曲线、相关函数、功率谱和分形维数等参数的图象分析与测量的ＦＯＲＴＲＡＮ程序；用ＳＴＲ－１８０和ＳＴＲ－１０００标样作了高度标定，对国产Ｎａｔｕｒｅ磁带和进口Ｓｏｎｙ磁带的原子力／摩擦力显微图象进行了分析测量．结果表明：Ｎａｔｕｒｅ磁带的粗糙度和粒度均比Ｓｏｎｙ磁带的大；微摩擦力与表面轮廓及表面轮廓斜率之间均有良好的对应关系．
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