未找到相关数据
计量圆光栅动态精度的检测技术
被引：11
作者：
费斌
徐文雄
蒋庄德
范裕健
机构：
[1] 西安交通大学,Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ技术大学
来源：
关键词：
圆光栅,精度,检测;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.1996.05.015
中图分类号：
TH741.606 [];
学科分类号：
摘要：
本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅动态地、连续测量，最终得到其误差函数Ｒ（θ）。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差，硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路，使得检测系统的精度大为提高，并且排除了测量过程中，环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究，并给出此方法的精度估计
引用
收藏
页码：78 / 82
页数：5
相关论文