共 1 条
[1]
硅微机械加工技术[M] 黄庆安编著; 科学出版社 1996,
单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展
被引：76
作者：
王涓
孙岳明
黄庆安
周再发
机构：
[1] 东南大学化学化工系
[2] 东南大学MEMS重点实验室
[3] 东南大学MEMS重点实验室 江苏南京
来源：
关键词：
硅;
各向异性;
湿法腐蚀;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG174 [腐蚀的控制与防护];
学科分类号：
090303 [农业农村环境保护与治理（农业环境保护）];
摘要：
介绍了硅各向异性腐蚀的含义、特点、用途以及常用的腐蚀剂等基本要素 ;着重论述了试图解释硅各向异性腐蚀行为的几种典型机理 ,并在此基础上对各腐蚀机理做了简要分析
引用
收藏
页码：1 / 4+24
+24
页数：5
相关论文