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乌克兰巴顿焊接研究所的电子束物理气相沉积技术
被引：7
作者：
徐惠彬
宫声凯
刘福顺
机构：
[1] 北京航空航天大学
来源：
关键词：
EB－PVD,涂层;
D O I：
10.19302/j.cnki.1672-0989.1997.06.002
中图分类号：
V261.933 [];
学科分类号：
摘要：
乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心是目前世界上唯一大规模利用电子束物理气相沉积（ＥＢ－ＰＶＤ）研制新材料和涂层工艺的研究中心，本文简要介绍该中心研制的电子束设备、目前正在从事的科研项目及电子束物理气相沉积技术的应用前景。
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