纳米级加工、测控技术及其应用

纳米技术是材料、纳米级加工、测量和控制技术的统一体。纳米加工技术以光子、电子、离子等能量束加工方法为主体，测控技术主要有光干涉技术、扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）技术及其相关精密定位技术等。其应用涉及电子、光学、生物、医疗等许多工程和科学领域。