激光差动共焦曲率半径测量不确定度评定

被引：3

作者：

王旭 ^{[1
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王中宇 ^{[1
]}

赵维谦 ^{[2
]}

邱丽荣 ^{[2
]}

机构：

[1] 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院

[2] 北京理工大学光电学院

来源：

应用光学 | 2014年 / 35卷 / 01期

关键词：

曲率半径; 差动共焦系统; 测量不确定度; 评定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

曲率半径是球面光学元件中的重要参数之一,曲率半径的高精度测量已经成为光学元件使用与加工中的一个关键问题。提出了基于差动共焦法的曲率半径测量方法,研制了1套激光差动共焦曲率半径测量系统,并对2组曲率半径测量结果进行不确定度评定。结果表明,2组曲率半径的测量值均与标称值吻合,其相对误差为0.001 15%,两组测量数据的标准不确定度均优于3.211 11×10-4 mm。

引用

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