测量表面形状的ESPI技术

被引：1

作者：

何世平

汪柳生

伍小平

机构：

[1] 中国科学技术大学力学系

[2] 中国科学技术大学力学系合肥

[3] 合肥

来源：

量子电子学 | 1991年 / 02期

关键词：

ESPI; 三维轮廊; 形状检测; 高度分布;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文提出了一种利用电子散斑干涉法(ESPI)检测漫射表面三维轮廓的新方法。并应用该方法具体测量了斜面、柱面和球面三种不同形状的表面轮廓。文中介绍了检测光路,推导了计算公式,讨论了测量灵敏度的调节问题。最后,还就实验误差、该方法的优点和不足进行了分析。所有相关条纹图和实验数据,均由交互式高速图像处理系统和微机进行处理和分析。

引用

页码：254 / 262

页数：9