激光直边衍射CCD位移测量方法

被引：11

作者：

张广军

机构：

[1] 北京航空航天大学

来源：

实用测试技术 | 1994年 / 02期

关键词：

激光，直边衍射，CCD，位移;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN386.5 [电荷耦合器件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

本文以激光直边衍射原理为基础，提出了直边衍射ＣＣＤ泣移测量方法。该方法具有测量精度高、速度快等特点。

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页数：2

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共 2 条

[1]

提高CCD尺寸测量分辨力的解调测量法 [J].

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[2]

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