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用溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜
被引：16
作者：
张志波
王立久
角田范义
上野晃史
机构：
[1] 大连理工大学土木系,大连理工大学土木系,日本国丰桥技术科学大学,日本国丰桥技术科学大学,
来源：
关键词：
溶胶-凝胶法;
正硅酸乙脂;
SiO2薄膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
利用溶胶-凝胶法研制了 SiO2 薄膜.研究了溶液中组成,即 H2O/Si（OC2H5）4摩尔比对薄膜形成的影响.在溶液中添加了干燥控制化学剂,研究了添加剂对成膜性的影响.结果表明,利用H2O/Si（OC2H5）4的摩尔比>15,并且添加适量的添加剂的溶液,能够制得结构均匀而不开裂的 SiO2薄膜.用扫描电镜观察了薄膜的微观结构,并测定了薄膜的厚度.
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页数：4
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