制备工艺对HfO薄膜抗激光损伤能力的影响

被引：6

作者：

马平

柴林

邱服民

顾元元

机构：

[1] 成都精密光学工程研究中心!四川成都

来源：

强激光与粒子束 | 2001年 / 01期

关键词：

HfO2薄膜; 表面粗糙度; 激光损伤;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN244 [激光材料及工作物质];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

采用反应蒸镀法镀制了单层ＨｉＯ２薄膜，观察了薄膜表面主要的微结构缺陷，研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化。结果表明：沉积工艺可以改变粗糙度，并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。

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共 2 条

[1] 不同膜系结构的光学薄膜的激光损伤研究 [J].

李仲伢 ;

李成富 ;

范正修 ;

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光学学报, 1991, (01) :93-96

[2]

Characterization of HR coatings for the megajoule laser transport mirrors .2 Fornier A,Cordillot C,Bernardino D,et al. SPIE . 1997