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半导体器件失效分析与检测
被引：5
作者：
付鸣
机构：
[1] 深圳市深爱半导体公司
来源：
关键词：
半导体,器件,失效分析,检测;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN303 [结构、器件];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
本文对半导体器件的失效做了详尽分析，并介绍了几种常用的失效检测方法。
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