薄膜应力测定的X射线掠射法

被引：17

作者：

徐可为，高润生，于利根，何家文

机构：

[1] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

来源：

物理学报 | 1994年 / 08期

关键词：

薄膜应力; 常规法; 掠射法; 侧倾法;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

薄膜应力可用ｘ射线掠射法测量，２θ－ｓｉｎ￣２φ失去线性时，采用小角掠射，有可能使２θ－ｓｉｎ￣２φ恢复直线，并由斜率计算应力；２θ－ｓｉｎ￣２φ维持线性时，依次改变掠射角，可望对内应力沿膜厚分布做出评估。

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页数：6

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