扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法

被引：16

作者：

张立源

李永贵

王潜

机构：

[1] 中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室

[2] 中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室北京

[3] 北京

来源：

物理学报 | 2001年 / 12期

关键词：

扫描探针显微镜(SPM); 近场红外扫描显微镜(SNIM); 光纤探针;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN16 [电子光学仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ;

摘要：

红外光探针是扫描近场红外显微镜 (SNIM)中的关键部件 ,由于探针的种类和材料不同 ,制作的方法也不同 .一般制作光纤探针有两种方法 ,即热拉伸法和化学腐蚀法 .这里叙述了一种化学腐蚀方法 ,介绍了怎么去除砷硒碲中红外光纤的聚酰胺表层和硫化硒夹层 ,以及芯层腐蚀成针尖状的具体方法和过程 ,并对短锥针探针制法进行了探索 .最后用此探针在近场范围内探测了氮化镓样品的自由电子激光 (FEL)反射谱

引用

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