线条边缘质量建议测量规程

本文按ISO 13660标准定义的线条边缘质量讨论了具体的测量和计算方法。由于粗糙度测量数据特有的位置敏感性,导致随机选择测量位置无法获得线条边缘粗糙度的合理结果,为此需要建立考虑位置敏感性的测量规程。测量数据表明,本文建议的测量规程可满足边缘质量的测量和评价要求。