一种电容式传感器信号调理电路的设计

与常规检波器不同,MEMS电容式加速度传感器所获得的是地震信号变化引起的电容的变化量。为了将这个电容的变化量转换为电压信号输出,而且使该传感器能有效接收到深层反射回来的微弱信号,我们设计了一种电容式传感器的调理电路。本文对组成该调理电路的接口电路、放大电路、低通滤波电路进行了详细地分析,并对调理电路的性能进行了实际检测。