微机电系统的微观摩擦学研究进展

被引：25

作者：

邓昭

饶文琦

任天辉

余来贵

刘维民

余新良

机构：

[1] 上海交通大学化学化工学院

[2] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

[3] 浙江家园药业有限公司上海

[4] 上海

[5] 甘肃兰州

来源：

摩擦学学报 | 2001年 / 06期

关键词：

微机电系统; 微观摩擦学; 表面改性; 薄膜; 超润滑;

D O I：

10.16078/j.tribology.2001.06.023

中图分类号：

TH117.1 [摩擦与磨损];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述 ,介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征 ,以及材料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响 .从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题 ,介绍了表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状 ,并对相关领域的工作进展进行了总结和展望

引用

页码：494 / 498

页数：5

共 4 条

[1] 硅烷自组装膜及硅烷/二氧化钛复合膜的XPS表征与摩擦性能研究 [J].