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硅微型惯性器件理论及应用.[M].王寿荣编著;.东南大学出版社.2000,
一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计
被引：4
作者：
吕志军
倪学文
莫邦燹
项斌
机构：
[1] 北京大学微电子研究所
[2] 北京大学微电子研究所 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
电容式微传感器;
CMOS电路;
过采样;
前置放大器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
采用基于开关电容技术的CMOS电路,实现差分式电容微传感器的信号读出;阐述了这种电路结构的工作原理;分析了噪声特性,并提出了减小噪声的措施。分析了各晶体管尺寸对热噪声和1/f噪声的影响,并在设计时进行了折衷。采用3μmN阱CMOS工艺参数对前置放大器进行了HSPICE仿真:放大器具有68nV/Hz的输入噪声、84dB的开环增益、130dB的共模增益等优良的交、直流特性;电路还可以达到1fF的输入分辨率。
引用
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页数：5
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