ESEM的特点及其X射线分析

被引：1

作者：

朱武

干蜀毅

机构：

[1] 合肥工业大学机械与汽车工程学院!安徽合肥

来源：

关键词：

环境扫描电子显微镜; 特点; X射线; 分析;

D O I：

10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2000.06.006

中图分类号：

TN16 [电子光学仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ;

摘要：

环境扫描电子显微镜 (ESEM)保留了传统扫描电子显微镜的全部优点 ,但取消了样品环境必须是高真空的限制。在气体压力高达 660 0 Pa,温高达 1 50 0℃ ,具有任何气体种类的多气环境里 ,ESEM都可提供高分辨率的二次电子成像。本文介绍了 ESEM的特点、应用领域及 X射线分析的有关问题

引用

页码：23 / 25+31

页数：4