带能谱分析的扫描电子显微镜在材料分析中的应用

简要分析了扫描电子显微镜和X射线能量色散谱分析的原理及特点,概述了带能谱分析的扫描电子显微镜的独特优点,然后借助扫描电镜的能谱分析,以难切削加工材料钛合金(TC4)的切削刀具磨损形貌和探求刀具材料成分组分为例,说明了带能谱分析的扫描电镜在定点成分分析、线扫描和面扫描方面的应用。最后总结了这种显微镜的应用范围。