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薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究
被引：18
作者：
薛俊明
麦耀华
赵颖
张德坤
韩建超
侯国付
朱锋
张晓丹
耿新华
机构：
[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
来源：
关键词：
叠层电池;
微晶硅;
非晶硅;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM914 [光电池];
学科分类号：
080502 ;
摘要：
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池顶电池与底电池的本征吸收层厚度匹配与电池电流匹配,以及氧化锌/金属复合背反射电极对电池的作用。研制出了面积为1.0 cm2效率达9.83%的薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池。
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页码：166 / 169
页数：4
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