电致伸缩陶瓷致动器及其应用

被引：5

作者：

赖文学

机构：

[1] 四川压电与声光技术研究所

来源：

压电与声光 | 1987年 / 05期

关键词：

致动器; 电致伸缩效应; 陶瓷片;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

本文叙述了电致伸缩效应、材料及器件结构原理.重点介绍了致动器近年来在精密机械、大规模集成电路设备、光通讯控制等方面越精定位技术上的应用.预计在今后的微电机时代,电致伸缩致动器将是亚微米超精定位技术的关键部件.

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