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Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱
被引：21
作者：
莫党
陈树光
余玉贞
黄炳忠
机构：
[1] 中山大学物理系
来源：
关键词：
椭圆偏振光谱;
装置;
测定方法;
Si-SiO2;
SiO;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
我们建立了椭圆偏振光谱仪装置,提出一种较简便的测定方法(测Imax,Imin,θmin,算（ψ,Δ）-λ),并对具有不同厚度氧化硅膜的硅样品进行了测量。还在理论上计算了光谱曲线,与实验结果基本相符。最后,对比了测定膜厚的偏振光谱法与消光法。
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页数：4
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