光学微结构的超精密加工技术

被引：24

作者：

李荣彬

杜雪

张志辉

高栋

赵伟明

机构：

[1] 香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心,香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心,香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心,香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心,香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心

来源：

关键词：

超精密加工; 微结构光学元件; 刀具轨迹生成器;

D O I：

10.13494/j.npe.2003.011

中图分类号：

F416.6 [电气、电子工业];

学科分类号：

摘要：

微结构光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛.采用多轴超精密机床加工光学微结构,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面光洁度的高精度水平.详细介绍了光学自由曲面及光学微结构的超精密加工技术,并开发了适合超精加工微型槽和微透镜列阵的刀具轨迹自动生成软件.

引用

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