AlN 粉末制备的热力学分析和实验研究

被引：9

作者：

李春忠

胡黎明

陈敏恒

机构：

[1] 华东化工学院技术化学物理研究室

来源：

无机材料学报 | 1992年 / 04期

关键词：

AIN; 化学气相淀积; 超细粉末; 热力学;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

对制备 AlN 的体系 AlCl3-NH3-N2进行了热力学分析,确立了 AlN 粉末合成所需要的热力学条件.在700～1000℃下,利用无水 AlCl3和 NH3的化学气相淀积反应合成得到了高纯 AlN 超细粒子粉末,研究了反应温度、AlCl3浓度和总流量等对 AlN 粉末理化性质的影响.实验确立了产物低温和高温热处理条件.

引用

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