CAMECA IMS—4F离子探针的灵敏度分析

被引:1
作者
刘容
韩象明
王理
机构
[1] 机械电子工业部第研究所
[2] 中国科学院北京科学仪器研制中心
关键词
离子探针; 灵敏度;
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
本文叙述在CAMECA IMS—4F离子探针上利用各种方法进行灵敏度测试的实验结果,并与各国离子探针的灵敏度进行对比,从而进一步证实了在国产LT-1A离子探针上的实验数据和分析结果是正确的。
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