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集成电路与超纯水
被引：1
作者：
沈健
机构：
[1] 中国电子工程设计院
来源：
关键词：
集成电路;
超纯水;
工程实例;
D O I：
暂无
中图分类号：
F426.63 [];
学科分类号：
020205 ;
0202 ;
摘要：
本文以16M位、64M位集成电路工厂纯水为实例,介绍了两套超纯水装置的处理流程与制水特点,它们均已通过一年多运转的考验,处理效果稳定,水质指标分别达到了设计水质要求。
引用
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