射频微机电系统技术现状

被引：12

作者：

金铃

机构：

[1] 南京电子技术研究所南京

来源：

关键词：

微机电系统技术; 射频微机电系统; 微机电系统器件;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN454 [微波混合集成电路（微波集成电路）];

学科分类号：

140101 [集成纳电子科学];

摘要：

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

引用

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