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微机械加工技术发展概况(二)
被引：1
作者：
鲍敏杭
机构：
[1] 复旦大学电子工程系
来源：
关键词：
微机械加工;
平整化;
微机械技术;
化学机械抛光;
多晶硅膜;
表面微机械加工技术;
大规模集成电路;
发展概况;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN4,TP212 [];
学科分类号：
摘要：
微机械加工技术发展概况（二）鲍敏杭复旦大学电子工程系，传感技术国家实验室上海市２００２３３７表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路开发的一种工艺技术。它是利用化学机械抛光方法将因金属化加工而变得起伏的硅片表面变得平整，为进一步加工提供更好的...
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