微小差分电容检测技术的研究

被引：9

作者：

朱武

张佳民

熊斌

车录锋

王跃林

机构：

[1] 上海电力学院信控系

[2] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

[3] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海

[4] 上海

来源：

关键词：

加速度计; 微机械; 组合放大器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

在MEMS电容式加速度传感器的测试中,由于受单放大器开环增益有限的影响,提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的.针对这种情况,本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理,实验结果表明,电路可检测的最小差分电容可达到5aF(5×10-18F).

引用

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