基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪

被引：18

作者：

何永辉

蒋剑峰

赵万生

机构：

[1] 上海宝钢股份有限公司研究院设备所!上海

[2] 上海交通大学电子信息学院!上海

[3] 哈尔滨工业大学特种加工研究所!黑龙江哈尔滨

来源：

光学技术 | 2001年 / 02期

关键词：

表面三维微观形貌测量; 白光干涉; 扫描白光干涉法; 三维轮廓仪;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.02.018

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。

引用

页码：150 / 152+155 +155

页数：4

共 4 条

[1]

Leslie Deck,Peter De Groot.High-speed non-contact profiler based on scanning white-light interferometry. Applied Optics . 1994

[2]

Creath K.Step Height measurement using two-wave length phaseshifting interferometry. Applied Optics . 1987

[3]

Thomas Dresel,Gerd Ha¨usler,Holger Venzke.Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar. Applied Optics . 1992

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Peter de Groot,Leslie Deck.Surface profiling by analysis of whitelight interferograms in the spatial frequency domain. Journal of Modern Optics . 1995

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