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静电技术与洁净工程
被引：1
作者：
吴宗汉
机构：
来源：
关键词：
静电技术;
微粒子;
静电除尘;
电力除尘;
粒子沉积;
洁净室;
净化室;
沉积速度;
防静电地板;
放电电极;
D O I：
暂无
中图分类号：
TU834.8 [空气净化];
学科分类号：
081404 ;
摘要：
<正> 科学技术发展要求各个工业部门的生产应该有一个良好的环境,而这个环境虽应有一个综合的指标和要求,但结合本文所讨论的仅是洁净工程,我们可以清楚地看到"洁净"的环境是许多工业部门必不可少的。例如,在微电子工业方面有严格的要求,在生产高要求绝缘材料的车间、(如PI膜,F-4膜等)也需要洁净环境,在医药工业和有关部门都必须有洁净要求。这些都表明"洁净"是很重要的。怎样才能保证这个环境呢?为了了解这一问题,我们必须从这个洁净环境是如
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