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- [3] 计算机图像处理及常用算法手册[M]. 南京大学出版社 , 杨静宇,曹雨龙编著, 1997
图像处理在高精度对准系统中的应用
被引：12
作者：
杨维全
陈伟明
胡松
刘业异
机构：
[1] 中国科学院光电技术研究所!成都
来源：
关键词：
图像处理;
光刻机;
对准系统;
算法;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.7 [光刻、掩膜];
学科分类号：
摘要：
阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。
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