外差干涉仪频率混叠误差分析

研究了激光外差干涉仪中存在的频率混叠现象、误差形成机理和变化规律。重点分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和Ｗｏｌａｓｔｏｎ棱镜的安装方位角引起的频率混叠误差的大小及变化规律。对进一步提高共光路外差干涉测量精度具有现实意义。