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微电子机械系统
被引：12
作者：
王跃林，苏以撒，王文
机构：
[1] 浙江大学，香港科技大学
来源：
关键词：
微电子机械系统，微机械，传感器，执行器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
摘要：
本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。
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