H13钢氮化前后表面磁控溅射CrAlN薄膜的摩擦磨损性能

被引：21

作者：

尹小定 ^{[1
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王社斌 ^{[1
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余春燕 ^{[1
]}

田林海 ^{[4
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许并社 ^{[1
,2
,3
]}

机构：

[1] 太原理工大学材料科学与工程学院

[2] 太原理工大学

[3] 教育部新材料界面与工程重点实验室

[4] 太原理工大学表面工程研究所

来源：

机械工程材料 | 2008年 / 09期

关键词：

H13钢; 磁控溅射; CrAlN薄膜; 摩擦磨损;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

摘要：

为了提高H13钢的表面耐磨性能,用直流磁控溅射法在氮化与未氮化的H13钢表面沉积CrAlN薄膜,并对处理前后的摩擦磨损性能进行了比较;用扫描电镜观察薄膜形貌,并测其厚度;测量了随炉硅片的薄膜显微硬度;用摩擦磨损试验机测试了在室温和600℃条件下薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:薄膜平均厚度为4.8μm,硬度为23.7 GPa;室温条件下材料的表面摩擦因数为0.60～0.65,600℃条件下摩擦因数为0.61～0.96;CrAlN/氮化H13钢和CrAlN/H13钢在室温摩擦时的耐磨性分别是H13钢的1.9倍和1.7倍,在600℃条件下耐磨性分别是H13钢的1.25倍和7倍。

引用

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页数：5

共 13 条

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