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微量超微量测量的几个问题
被引：1
作者：
黄俊钦
机构：
[1] 北京航空航天大学自动控制系
来源：
关键词：
微量测量;
超微量测量;
D O I：
10.19708/j.ckjs.1997.03.001
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
介绍传感器和测试系统的一个重要发展方向——微型(μm级)超微型(nm级)的发展方向。纳米超微电极可以直接插入单个生物细胞内进行测试,再将敏感元件做在超微电极内,便是超微传感器。电子隧道位移传感器可用来直接观察物件内的单个原子的情况,将它用在加速度传感器内,可使加速度传感器的分辨率从μg级一跃为ng级,效果非常明显。
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