单轴硅微加速度传感器的原理与电路设计

单轴硅微加速度传感器将敏感部分与外围信号调理电路集成在一起,成为一个完整的加速度测量系统。系统除供电电源外不需要任何外加因素,能够实现电路的无触摸启动工作。敏感部分采用差动电容式结构具有高灵敏度、宽量程、较低的非线性误差、外围电路简单等优点。外围电路将敏感输出信号相位调制后,通过解调输出。解调电路采用开关电容(SC)的形式,通过负反馈系统反馈电荷影响采样-积分幅度的思路,设计电路对有效信息解调。本文介绍单轴硅微加速度计敏感部分的原理与外围调理电路的设计思路。