压电线性马达与纳米马达

国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用。它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时,又可能实现超高精度和小位移——毫米级的位移行程和原子级的精度。一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表征压电线性马达。该文首先介绍几种类型的压电线性马达,包括它们的结构、运行原理和特性等,然后再介绍纳米马达。应该指出,纳米马达是压电线性马达的发展,其特点是能够实现纳米级精度的位移,国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用。