微机械叉指换能器声表面波陀螺

被引：19

作者：

马晋毅

机构：

[1] 天津大学电信学院微电子系天津

[2] 四川压电与声光技术研究所

[3] 重庆

来源：

压电与声光 | 2003年 / 06期

关键词：

微机械-叉指换能器(MEMS-IDT); 声表面波(SAW); 陀螺;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN65 [声光器件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构,抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时,提出了一些迫待解决的问题。

引用

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