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蒸发制备ZnO薄膜的结构及光学电学特性的研究
被引：10
作者：
马瑾，计峰，马洪磊，李淑英
机构：
[1] 山东大学光电材料与器件研究所
来源：
关键词：
ZnO薄膜，透过率，电导率;
D O I：
10.19912/j.0254-0096.1995.02.010
中图分类号：
TM215.3 [绝缘薄膜];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
080801 ;
摘要：
以乙酸锌作为蒸发物质，采用真空蒸发技术，在加热的玻璃衬底上制备出高质量的ＺｎＯ透明导电薄膜，并对其结构、光学和电学特性进行了研究。
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