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微环境技术述评
被引：2
作者：
林耀泽
机构：
[1] 中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡，
来源：
关键词：
微环境系统;
ASIC;
顶棚;
过滤器;
造价;
分离设备;
洁净度;
ULSI;
特征尺寸;
厂房;
工艺设备;
亚微米;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
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