二硫化钼基共溅射膜摩擦学性能的研究

本文研究了金、聚四氟乙烯以及石墨等添加物对二硫化钼共溅射膜摩擦学性能的影响。与MoS2溅射膜相比,MoS2-Au共溅射膜具有非常优异的摩擦学性能,特别是在高真空条件下;MoS2-石墨共溅射膜的抗湿性有了很大的改善;而MoS2-PTFE共溅射膜的摩擦学性能却没有多大改善,这是因为氟在溅射过程中有所损失造成的。合适的偏压溅射可以提高MoS2基共溅射膜的耐磨寿命。在底材为AISI 440C不锈钢、中间层为铑（5μm）、球为红宝石（单晶）及相对湿度大于98％时的特殊摩擦体系中,MoS2基共溅射膜具有非常长的耐磨寿命。